A-Z ELEKTRO září / říjen 2020

září/říjen 2020 | A-Z ELEKTRO | 19 AUTOMATIZACE už jen relativně malý neobsazený prostor. Určitý potenciál se nachází v přemístění základního materiálu mezi jednotlivými pracovními úkony. Jeho automatizované řešení a tím i efektivnější propojení jednotlivých pracovišť je úkol mimořádně kom- plexní. Důvodem jsou jednak náročné požadavky na okolní prostředí a také obtížné rámcové podmínky. Pro výrobu vysoce citlivých polovodičů se například kladou nejvyšší nároky na bezprašnost prostředí a na funkč- nost výrobního procesu, kterých lze dosáhnout pouze v čistých prosto- rách. Vedle čistého vzduchu, který se zajišťuje na energii náročnými klimatizačními zařízeními a několikastupňovou filtrací, je nezbytné pro dodržení specifiko- vaných tříd čistoty mít k dispozici náležitě přizpůsobené oblečení, spe- ciální pracovní prostředky, nástroje a rovněž odpovídající techniku. Další výzvu při výrobě představuje vysoká citlivost waferů. Jsou totiž velice náchylné na mechanická poškození vznikající například působením vibrací nebo tlaku. Spojení silných stránek člověka a stroje Teoreticky by byla možnost všechna výrobní pracoviště v rámci automati- zace transportu kompletně přestavět, nově je uspořádat a použít statická dopravní řešení, na způsob lineár- ních portálových jeřábů. Podniky však investovaly do stávajících výrobních systémů velké částky, a proto nepřed- stavuje tento scénář – už jenom kvůli nákladům – žádnou reálnou alter- nativu. Totéž platí pro rekonstrukci ve velkém měřítku. Řešení, které by propojovalo jednotlivé výrobní kroky, by muselo umožnit integraci do stávající výrobní sestavy, vzájemně propojovat nejdůležitější vlastnosti člověka a stroje a současně minima- lizovat požadavky, jež nasazení člo- věka přináší, neboť i přes existenci vybavení zajišťujícího čistý vzduch, existuje stále nebezpečí zanesení nežádoucích částic. Kromě toho neza- ručuje ani sebepečlivější manipulace výrobu bez ztrát. Při vyso- kých cenách waferů pak náklady způsobené zmetky rychle naskakují. Auto- matizované řešení by tedy muselo splňovat požadavky týkající se čistoty prostoru a zároveň disponovat citli- vostí potřebnou k tomu, aby se technika mohla pohybo- vat v různých prostorech a přebírat, s nezbytnou dávkou jemného citu, ma- nipulační úkoly. Tedy být mobilní a tak nabídnout přidanou vlastní hodnotu. Wafery osazené kazety by se musely autonomně transportovat od jednoho zařízení ke druhému, systém by je musel samo- statně vkládat do jednot- livých modulů a také je z nich vyjímat („nabíjet“ a „vybíjet“). Další výzvu představuje skutečnost, že ve stávající výrobě jen málokdy probíhá zpra- cování v linii, protože jednotlivé pracovní stroje nebývají v řadě za sebou, ale jsou často od sebe různě vzdálené. I přes náročnost organizace výroby hle- dají podniky neustále řešení, jak výrobní kroky automatizovaně propojit, což je při očekávaném vzrůstu poptávky po po- lovodičích pochopitelné. Pomoc by mohlo nabíd- nout automatizované řešení přepravy, které by bylo nejen mobilní, citlivé a pracovalo v bez- prašném prostředí s inte- grací do stávající výrobní technologie s nejvyšší efektivitou. Na scénu přichází senzitivní mobilní robotická aplikace Řešení, které umožní požadova- nou mobilitu, senzitivitu a bude